ULVAC機工的GLD系列，具有低振動，低噪音及以下優良性能：
1.氣鎮閥能防止蒸汽（例如水蒸汽）凝縮在泵油內。
2.強制給油機構能保證從大氣到高真空的整個排氣過程中，保持油潤滑和內部密封。
3.逆流防止裝置在斷電時能保護真空箱。低溫確保了真空泵創造良好的真空度。強制的油過濾器可濾出泵油的雜質，通過大型刻度易讀的油量計，可以隨時檢查泵油的狀況。
使用指導
為了zui大限度的發揮真空泵的*性能，應注意以下幾點：
1.GLD系列可適用于廣泛領域，能獲得極低的真空（10-2Pa），配置KF法蘭可獲得高真空。為發揮zui大性能請使用高真空法蘭。
2.GLD系列并不適用于有毒或腐蝕性氣體。（請選擇GCD系列:p.10）
3.油旋片真空泵并不適用于在大氣壓附近連續運轉。
日本ULVAC GLD-051直聯型油旋片式真空泵應用
1.科學與化學試驗，分析裝置，鐳射相關裝置。
2.電子顯微鏡的前級泵系統。
3.半導體生產系統，濺射系統，真空涂層系統。
4.真空干燥系統，冷凍干燥系統。

 技術參數：